Laser Polishing Technology

一般のポリシング技術では実現できないレーザーを用いたポリシング技術を持っています。
これを用いた大面積の平坦化ポリシングや剥離技術、パターニング技術にも活用できます。

技術の紹介

一般的にポリッシングといえば、セラミックスラッリを活用した機械的ポリッシングとクォーツ及びサファイアなどで主に使用されるファイアポリッシングのことです。
レーザーを活用したポリッシング技術は、しばしば技術的に言及されてきましたが、産業現場に適用されていませんでした。
よって、21世紀は精密な研削加工後の微細な平面図の補正のためにポリッシング技術の必要性を感じて海外有数の研究機関と協力し、
レーザーポリッシング装置を開発して産業現場に導入するようになりました。
レーザーポリッシング技術は21世紀の独歩的なコア技術で、これを活用した大面積ポリッシング及び研削後微細補正、パターニング技術など多様な分野に活用されています。

レーザーポリシング原理と方式

多機能表面処理技術

フェムト秒グリーンレーザー

+

に基づく高精度ステージ
リアルタイム測定

  • ナノ(10-9)セカンドIRレーザー→フェムト(10-15)セカンドグリーンレーザー
  • 多機能:レーザープレーニング+レーザーナノ研磨

極超短レーザー利用ナノ研磨技術

極超短レーザーエコ超精密研磨技術のアプリケーション

産業の全分野!特にこの部分で強みがあります。
複雑な形状
大面積
オプション加工
環境に配慮し
工程の柔軟性
短い加工時間

21century Technology system

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