
一般的にポリッシングといえば、セラミックスラッリを活用した機械的ポリッシングとクォーツ及びサファイアなどで主に使用されるファイアポリッシングのことです。
レーザーを活用したポリッシング技術は、しばしば技術的に言及されてきましたが、産業現場に適用されていませんでした。
よって、21世紀は精密な研削加工後の微細な平面図の補正のためにポリッシング技術の必要性を感じて海外有数の研究機関と協力し、
レーザーポリッシング装置を開発して産業現場に導入するようになりました。
レーザーポリッシング技術は21世紀の独歩的なコア技術で、これを活用した大面積ポリッシング及び研削後微細補正、パターニング技術など多様な分野に活用されています。
フェムト秒グリーンレーザー
に基づく高精度ステージ
リアルタイム測定