[資料: https://files.value-press.com/czMjYXJ0aWNsZSM3Mzc2OCMyNzU0ODEjNzM3NjhfbnNyR0FzeHROeC5qcGc.jpg ]
(株)21世紀は超極短レーザーを活用し、能動制御型レーザービームエキスペンダーを含むガルバノスキャナーを適用した量産型レーザー加工装置を披露した。 (株)21世紀は超精密レーザー加工、超硬材切削工具、MCT TOOLING、超硬合金、自動化精密部品、測定用ゲージを注文生産する会社だ。
この装置は金属素材の加工対象物の品質を高め、加工速度を速くすることで超精密穴の品質と生産性を向上させることができる。 10~200㎛のマイクロホールを形成する際、震源度、円筒度、加工内部の壁面の表面粗さの向上を通し品質を向上させる。
従来のナノ秒レーザーを超極短レーザーに代え溶融突出物、表面屈曲、破片性粒子を最小化し、能動制御型レーザービームエキスペンダーを含むガルバノスキャナーを適用して震源度と加工速度を確保した。 また、レーザービーム入射面のマイクロホール直径とレーザービーム出射面のマイクロホール直径の偏差を最小化するとともに、レーザービーム入射面のマイクロホール端の面取り(chamfering)またはフィレット(Rounding)を同時加工(穴+面取りまたはフィレット)できるようになった。
特に、薄膜シート（セラミック、金属、コーティングフィルムなど）を吸着して移送したり、またはこれを正確な位置に順次積層する目的で使用される真空プレートに数十個から数百万個のマイクロホールが形成するためこの装置が活用される。 これは、ホール周辺部の位置に薄膜シートの押し付け、剥がれ、破れなどが発生しないようにする。
積層セラミックキャパシタ、積層セラミックバリスタ、積層セラミックアクチュエータなどの積層型電子部品と二次電池製造の積層工程設備と電気自動車を含む各種電子機器に使用される積層型バッテリー製造の積層工程設備に革新的な変化をもたらすものと予想される。
21世紀の関係者は「薄膜シートを積層する上で真空プレートの品質は必須条件」とし、今後「マイクロ超精密ホールを必要とするすべての分野に適用できる」と言及した。
