Laser Drilling Products

(株)21世紀はレーザー用いた超精密ドリル加工製品を生産しています。
PCD、PCBN、セラミック、超硬、ステンレス鋼、熱処理鋼、モリブデンなど様々な材種の素材で製作した製品に対して微細な穴をあけることができます。

レーザードリル製品

(株)21世紀は レーザーを用いた超精密ドリル加工製品を生産しています。
PCD、PCBN、セラミック、超硬、ステンレス鋼、熱処理鋼、モリブデンなど様々な材種の素材で製作した製品に対して微細な穴あけることができます。

レーザードリルは高出力凝集レーザービームを使用して、資材に急速に熱を加え、気化現象を起こして穴を加工する技術です。
これにより高効率、優れた品質の穴あけ加工が得られます。 特に、Ø0.2以下の微細穴を加工する作業に特化しています。
Femto-second Laserを活用してØ0.01mmのドリルまで実現可能で、これより小さいミクロン単位のホールを実現するために更なる開発を続けています。

レーザー加工は一般的なMCTドリル加工とは違い、熱処理の後に穴加工が容易であるという長所があり、
高強度/高硬度または熱処理済みの製品にも一定な品質の穴を加工することができます。

応用

半導体プロセス用
真空プレート
フィルム用
真空プレート
フリップチッププロセス用
真空ブロック
MLCC積層用
真空プレート
チップオンフィルム用
ボンディングツール

レーザー穴あけ

ADVANCED HELICAL ドリル技術

フェムト秒グリーンレーザー

+

Advanced Galvanoスキャナー

  • ナノ(10⁻⁹) 秒のIRレーザー → フェムト(10⁻¹⁵) 秒グリーンレーザー
  • 多機能トレパニング → 高度なヘリカルドリル

フェムト秒レーザー加工特性紹介

フェムト秒真空プレート

ナノ秒IRレーザー フェムト秒グリーンレーザー
トレパニングドリルシステム–パワー : 50 W,
パルスエネルギー : 100 uJ, 周波数 : 100Hz
高度なヘリカルドリルシステム-パワー : 5 W,
パルスエネルギー : 13 uJ, 周波数 : 100Hz
入力
出力
ナノ秒IRレーザー トレパニング掘削システム–パワー : 50 W,
パルスエネルギー : 100 uJ, 周波数 : 100Hz
入力
出力
フェムト秒
グリーンレーザー
高度なヘリカルドリルシステム-パワー : 5 W,
パルスエネルギー : 13 uJ, 周波数 : 100Hz
入力
出力
  • 穴サイズ最小 20 ㎛
  • Hole 間隔 3μmまで加工可能
  • MLCC積層用真空プレート
  • 最大800,000個まで加工可能
  • 様々な形状の穴
  • 同一区間内の不規則な位置の穴
  • 不規則なサイズの混在加工可能

MLCC製造プロセス用真空プレート

真空プレート
名前 Peeling plate
材料 SU420J2, SKD11
適用 MLCC積層機で真空引きすることにより、0.8ミクロンの緑色のセラミックシートを移動します。
  • レーザーを用いてマイクロホール加工(Φ0.01mmまで加工可能)
  • マイクロホール形状はカスタマイズ可能(円形、楕円形、四角形)
  • レーザー加工は通常の穴あけ加工とは異なり、熱処理後に穴を加工するため穴の配列が常に一定になります。

21century Technology system

ご不明な点などございましたらお気軽にお問い合わせください。
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